製品仕様書にコマンド一覧および通信プログラム例が記載されておりますので、MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書をご参照下さい。
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高精度圧力センサモジュール
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC（燃料電池）実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。
製品仕様書にコマンド一覧および通信プログラム例が記載されておりますので、MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書をご参照下さい。
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC（燃料電池）実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。