MUシリーズは、横河電機が開発した「シリコンレゾナント」方式の半導体圧力センサ素子を用いて圧力を測定します。
「シリコンレゾナント方式」の圧力センサでは、数 mm 角のシリコンチップに形成されたダイアフラム（薄板）上に、微細加工技術（ MEMS ）を用いて、微小な振動子を形成します。圧力を受けてダイアフラムがたわむと、ダイアフラム上の振動子にかかる張力が変化し、振動子の固有周波数が変化します。この周波数の変化を検出して、圧力に対応した電気信号を得ます。
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高精度圧力センサモジュール
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC（燃料電池）実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。