ゲージ圧の負圧レンジ品はラインアップされておりません。
正圧レンジ品では、負圧側は精度保証はできませんが、レンジ範囲の約 ± 150 ％ まで動作は可能です。
耐真空使用範囲は 2.7 kPa abs 以上です。なお、絶対圧レンジ品の使用可能範囲は、0.013 kPa abs 以上です。
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高精度圧力センサモジュール
横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC（燃料電池）実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。