2016年2月15日発表
横河メータ＆インスツルメンツ株式会社（本社：東京都武蔵野市 社長：山崎 正晴）は、波長範囲1.5µm～3.4µm（マイクロメートル）のレーザの光スペクトルを、広い測定ダイナミックレンジと高い波長分解能で高精度に測定する光スペクトラムアナライザ「AQ6376」を開発、2月16日から発売しますのでお知らせします。「AQ6376」は、3µm帯に対応した業界初の分散分光方式※1のベンチトップ型光スペクトラムアナライザです。
光スペクトラムアナライザは、半導体レーザやファイバレーザなど光デバイスの光波長成分を分解し、波長特性を評価するために使用される測定器です。「AQ6376」は、環境計測分野および医療分野などで注目されている3µm帯の光デバイスの普及や性能向上に貢献します。
※1 分散分光方式：広範囲の波長の光を回折格子で分散させ、細い隙間を通らせることで狭い範囲の波長を取り出す分光方式の一種
光スペクトラムアナライザ「AQ6376」
拡大
開発の背景
近年、環境計測分野では、炭素酸化物（COx）、窒素酸化物（NOx）および炭化水素ガス（CxHy）などのガスを検出する技術として、レーザ吸収分光法※2が普及しています。レーザ吸収分光法では、波長2µm帯の半導体レーザが広く使用されています。これらのガスには長い波長の光を吸収しやすいという性質があるため、より長い波長の3µm帯半導体レーザを使ってより高精度にガスを検出したいというニーズが増えています。また、医療分野にも光レーザ技術の導入が進み、水に吸収されやすい波長3µm帯のファイバレーザが使用されています。このように、環境計測分野と医療分野を中心に、波長3µm帯の光スペクトルを高精度に測定したいというニーズが高まっています。
3µm帯の光スペクトルを測定するには、波長が干渉を起こす性質を利用した干渉計型の測定器や、分光器を用いた大掛りなシステムがありますが、測定可能なダイナミックレンジや波長分解能などの測定精度に課題があり、小型で高性能な光スペクトラムアナライザが望まれていました。
今回開発した「AQ6376」は、当社が1980年に光スペクトラムアナライザ市場に参入して以来、可視光領域や近赤外線領域で培ってきた、光スペクトルを高精度に測定する技術を基に、中赤外線領域の3µm帯にも対応できるようにした分散分光方式の測定器です。
※2 レーザ吸収分光法：ある分子にレーザ光を当てたとき、分子の種別によって特定の波長の光を吸収することを利用し、光スペクトルを分析してその分子の量を測定する方法
新製品の特長
- 業界最高の広い測定レンジ
「AQ6376」の測定ダイナミックレンジは、波長3µm帯向けの干渉計型測定器と比較して約1万倍に相当する80dB（デシベル）、近傍ダイナミックレンジ※3は、約300倍に相当する55dBを実現しました。半導体レーザのサイドモード※3特性の測定に十分な性能を実現しました。ともに業界最高性能※4です。
※3 近傍ダイナミックレンジ：被測定光のピーク光と近接したスペクトル（サイドモード）を分離し測定する性能
※4 2016年2月現在 当社調べ
ただし、測定ダイナミックレンジは性能を示す参考値（代表値）であって保証値ではありません。 - 業界最高の高い波長分解能
「AQ6376」の波長分解能は、波長3µm帯向けの干渉計型測定器の3分の1に相当する100pm（ピコメートル）を実現しました。これは業界最高※5の波長分解能です。
※5 2016年2月現在 当社調べ
100pmは、波長3µmの光を測定時に設定できる波長分解能の最高値 - 被測定光本来の光スペクトルの測定が可能
分光器内の空気に含まれる微量な水蒸気を除去して特定の波長の光の吸収を抑制する機能と、分光器の原理上発生する高次回折光（入力光波長の2～3倍の波長の光）の影響を低減する機能を搭載しました。被測定光本来の光スペクトルの測定を可能にします。
主な対象ユーザ
医療分野や環境計測分野などの大学・研究機関および光半導体デバイスメーカ、光モジュールメーカなど
主な用途
半導体レーザ、ファイバレーザや広帯域光源の発光スペクトル評価
FBG※6などの光フィルタの波長透過特性測定
※6 FBG（ファイバー・ブラッグ・グレーティング）：光ファイバーのコアの屈折率に周期的な屈折率変化が形成されているファイバー型デバイス
以上
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