お知らせ: 本製品は、2022年1月31日に販売終了しております。
下記の推奨代替製品をご参照ください。:
雰囲気ガス管理用酸素濃度計OX100は、0～1000 ppmレベルの低濃度から0～25%のオーダまで1台で対応できる高性能の酸素濃度計です。
グローブボックスなどの半導体・電子部品の各種製造プロセス雰囲気ガス中の酸素濃度監視やクリーンルームの酸欠監視用に最適の限界電流式酸素濃度計です。長期間にわたって安定かつ高精度な測定ができ、簡単な操作・小型化により装置組み込みに最適です。
また、微量の有機ガスを含む用途では専用のサンプリングユニットも用意しています。
特長
- 1000 ppmから25%までの酸素濃度を一台で測定できます。
- ワンタッチ校正で操作は簡単です。
- 自己診断機能により信頼性が向上しました。
- センサ交換もワンタッチでOKです。
- コンパクトな96サイズ、設置場所に困りません。
- 信頼の専用アクセサリーをご用意しています。
- 専用のサンプリングユニット（酸素濃度計と別置き形）
（ダスト、ミスト、有機溶剤などを除去） - 簡易形校正キット：現場で簡単に校正可能 （1 L簡易ボンベを使用）
- 専用のサンプリングユニット（酸素濃度計と別置き形）
- 可燃性ガスや腐食性ガスが混入している場所での酸素濃度の測定はできません。
アプリケーション
- 研究開発実験用・部品加工グローブボックス
- 環境・醗酵・生化学等実験用クリーンルーム
- 食品包装時のフローガス連続測定
- エージングマシン
詳細
仕様
| 測定対象ガス | 窒素ガスおよび混合ガス（シリコンガス、可燃性ガス、有機溶剤を除く）中の酸素濃度 |
|---|---|
| 測定原理 | 限界電流方式 |
| サンプリング方式 | 自然拡散方式 |
| 測定ガス条件 | 温度：0～70°C 湿度：0～80%ＲＨ（結露しないこと） 圧力：1013±40 hPa （絶対圧力） |
| 構造 | 屋内設置、パネルマウント形 |
| 測定範囲 | 0-25% |
| 測定レンジ | 0-1000 ppm、0-25%（自動切替） |
| 繰返し性 | スパンの±5% （測定レンジ0～1000 ppmで酸素濃度0～100 ppmの時） スパンの±2% （測定レンジ0～1000 ppmで酸素濃度100～1000 ppmの時） スパンの±2% （測定レンジ0～25%の時） |
測定原理
ジルコニア固体電解質に電流を流すと、陰極から陽極へと酸素が移動します（酸素ポンプ作用）。ここで、陰極での酸素の流入を多孔質アルミナ基板で限定すると電圧を増加しても電流が一定に飽和する領域が生じます。その電流は限界電流と呼ばれ、酸素濃度に比例することから一定の電圧を印加することによって得られる電流値より酸素濃度を検出します。
関連情報
ドキュメント＆ダウンロード
カタログ
取扱説明書
- ＊販売終了：OX100 雰囲気ガス管理用酸素濃度計 (3.0 MB)
外形図
- ＊販売終了：OX100 雰囲気ガス管理用酸素濃度計 (157 KB)
- ＊販売終了： サンプリングユニット（OX100/OX102用) (71 KB)
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