半導体システム関連用語集
システム・ソフトウェア
API Application Programming Interface
ソフトウェアコンポーネンツが２つ以上あった時、相互にやりとりをするインターフェースの仕様。
CIM Computer Integrated Manufacturing
生産に関する情報をコンピュータネットワークおよびデータベースを用いて収集し統括的に制御・管理することによって、生産活動の効率化を実現する生産方式。
CRM Customer Relationship Management
情報システムを利用し、顧客に関する全ての情報を収集・一元管理し、顧客セグメントごとの最適なマーケティング戦略を自動生成することにより、顧客満足度の向上や、自らの営業効率を高め、顧客の囲いこみを実現するためのシステム。
ERP Enterprise Resource Planning
業務横断型の統合業務を行い、経営効率を向上させる手法またはシステム。企業、もしくは顧客なども含む企業間システムや、それらを実現するための企業情報システムを提供する。
MES Manufacturing Execution System
製造実行システム。 生産ラインで流れている各製品の工程、設備、条件、作業データをコンピュータで全て管理し、 分析し、品質向上、歩留まり向上、作業ミス低減等のより効率的な生産を実行・支援するシステム。
SCM Supply Chain Management
原材料調達から生産、保管、物流、販売をネットワークで結び、チェーン全体のスピードアップや最適化をはかる事によって顧客へのサ ービス向上とコスト削減を両立させた上で企業の利益を最大化する手法。
BPM Business Process Management
“ビジネスプロセス”に「分析」「設計」「実行」「モニタリング」「改善・再構築」というマネジメントサイクルを適応し、継続的なプロセス改善を遂行しようという経営・業務改善コンセプト。コンセプトを実行するために複数の業務プロセスや業務システムを統合・制御・自動化し、業務フロー全体を最適化するためのシステム。
RMS Recipe Management System
半導体生産装置のレシピ (作業指示書) を管理するシステム。ネットワーク経由でレシピのアップロード／編集／ダウンロードなどの処理を可能にする。
GEM Generic Equipment Model
SEMI スタンダードにおける装置定義。GEM は、SEMI 製造装置の通信及びコントロールのための包括的モデルとよばれ、 全ての半導体製造装置を対象に SECS-II の標準的な適用方法を定義している。
HSMS High Speed Message Services
HSMS は、SECS-I の RS232C によるシリアル通信を TCP／IP で置き換えるもので、 高速 SECS メッセージサービス (High Speed Message Service) とよばれ、 SEMI スタンダードに準拠するもの。コンピュータ上のアプリケーションが半導体製造装置との間で大量のメッセージを高速に伝達できるもの。
PLC Programmable Logic Controller
シーケンスコントローラの一種で、制御内容がソフトウェア的に変更可能なストアドプログラム方式のコントローラのこと。従来はPCと略記されていたが最近ではパソコンと混同されないよう、PLC と呼ばれるようになった。
SECS SEMI Equipment Communications Standard
SEMI スタンダードに定義されたシリアル通信規格。SECS-I、SECS-II 等の規定が有る。
UML Unified Modeling Language
オブジェクト指向のソフトウェア開発時に、様々なデータ構造、処理、設計、仕様を図示するための記法。 (開発手法ではない)
オンライン On-Line
コンピュータなどの機器がネットワークに接続されている状態。半導体製造工場においては特に半導体製造装置とホストコンピュータ間の通信を確立することを指す。
オンラインシミュレータ On-line Simulator
半導体製造装置やホストの SECS メッセージ通信を仮想的に行うシミュレータ。
完全GEM対応 Fully GEM Capable
上記の GEM の定義て定義される SECS-II の適用方法全て適応した装置／システムに対する表現方法
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