半導体・FPD製造システム

半導体やFPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラ・ソフトウェアです。製造管理システムとSECS/HSMS/PLC等を実装した装置をオンラインで接続します。

半導体製造工場における製造管理、工程管理を実現する MESパッケージです。最先端300mmウェハ製造工場の製造現場に求められる機能要件を網羅しています。

半導体・FPD製造工場のシステム運用の観点に立ち、オンライン検討・設計・開発管理・テスト・リリース・保守まで、ラインの立上げを一貫してサポートする業務サービスです。

半導体・FPD製造工場の露光機と塗布・現像機を連携制御し、フォトリソ工程のインライン制御を実現するソフトウェアです。オンラインコントローラと露光機・塗布現像機のI/Fを実現します。