CELLBrain

製品概要

CELLBrainは、業界標準仕様であるSEMIスタンダード（GEM, GEM300）に対応した半導体・FPD製造装置と製造管理システム（MES）を接続し、オンライン化（自動化）を実現します。セル・コントローラとして貴社で導入予定／導入済みの製造装置のきめ細やかな高度制御、データ収集が可能です。

特長

業界標準

• SEMIより発行されているGEM、GEM300（CMS, CJM, PJM, STS,OSS）スタンダードに対応
• SEMIをはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックを実施

統一プラットフォーム

• 300 mm対応装置だけではなく、GEM準拠装置や従来のSECSIIべースとの混在接続が可能

プログラミングレス

• 装置毎に異なる通信メッセージやデータ収集設定を、ハードコーディングすることなく、プログラミングレスで設定できる開発支援環境BrainSETTERを用意

各種モードサポート

• ホストがコントロールするオンライン・リモートだけではなく、オンラインローカルにも対応

運用管理支援アプリケーション

• 複数のCELLBrainや、装置毎の定義情報を一括管理するためのマネジャーアプリケーションCELLManagerを用意

 オンライン業務支援（OBS：Online Business Service）との連携

• 半導体・FPD製造工場のシステム運用の観点から、装置のオンライン化の業務を支援するOBS（Online Business Service）と連携し製造ラインの垂直立上を実現

主な導入業種

• 半導体製造業
• FPD製造工程
• 電子デバイス製造工程

機能

CELLBrainは、SEMIスタンダードに対応したオンライン機能を持った半導体・FPD製造装置を接続し、製造管理システム（MES）とのデータインタフェースを実現します。

基本機能

• 装置情報管理
• ロット情報管理
• シナリオ設定機能
• （メッセージ、イベント、ステータス、リモートコマンド、アラーム、エラーメッセージなど）
• GEM、GEM300機能
• 実績収集機能
• 対装置通信機能（HSMS通信、SECS通信）

SEMIスタンダード対応

• E4  ： SECS-I通信プロトコル
• E37： HSMS通信プロトコル
• E5  ： SECS－IIメッセージスタンダード
• E30： GEM（包括的装置モデル）
• E39： オブジェクトサービススタンダード
• E40： Process Job管理
• E94： コントロールジョブﾞ管理
• E87： キャリア管理スタンダード
• E90： Substrateトラッキングスタンダード
• E36： 半導体製造装置情報タグ仕様

拡張機能

• 装置特殊運用対応
• 各種ホスト接続機能
• SPC制御機能
• PLC I/F機能
• レシピ管理システム (e-RecipeSTORE) 接続機能
• 補正値サーバ接続機能

優位性

• オンライン制御対応による生産効率と信頼性の向上
• 作業ミスの低減
• 製造ラインの垂直立上
• 豊富な運用管理ツールによる保守作業工数の低減

導入効果

CELLBrainは、オンライン制御（自動化）を実現することにより生産効率の向上、作業ミスの低減を実現します。

経営効果

• 各種多様な装置のオンライン化実績があり、貴社の製造工場の早期立ち上げ貢献
• 装置効率の向上と製造コストの削減を実現

業務効果

• 装置のオンライン（自動）化により、省人化および装置の操作ミスを低減

システム構成

CELLBrainは、利用規模に応じて柔軟にシステムを拡張することができます。

基本構成

動作環境

CELLBrain

CPU: Pentium4 2.8GHz
メモリー: 512GB 以上
※ 装置接続台数により異なります。
※ 最新のWindows OSおよびその他プラットフォームへの対応状況につきましては、お問い合せください

BrainSETTER、CELLManager

CPU : Pentium4 2.8GHz
メモリー: 512GB 以上
※ 最新のWindows OSへの対応状況につきましては、お問い合せください