低濃度ジルコニア式酸素濃度計 OX400は、横河電機の酸素濃度計の長年の経験と実績をもとに0-10 ppmO2の低濃度から0-100 vol%O2まで1台で測定できる高精度・高信頼性の酸素濃度計です。
センサは、横河電機独自の薄膜形成法を採用し、ジルコニア素子と白金が分子的に結合するため剥離がなく、高速応答で長寿命の小型・高信頼性ジルコニアセンサです。
半導体の拡散炉、乾燥炉、液晶製造プロセスにおける酸素濃度管理、ハンダ槽フロー・リフロー炉、グローブボックス、ガス製造プロセスにおける酸素濃度管理、粉体移送の粉塵爆発対策用酸素濃度測定等に使用できます。
特長
長寿命・高速応答
- 横河電機独自の薄膜形成法を採用、従来製品に比べ約3倍長寿命（当社比）
- 測定ガスの置換が容易な円筒型センサで高速応答を実現
高性能・高信頼性
- 低酸素濃度領域でも優れた繰返し性および直線性
- アプリケーションに応じたサンプリング方式、（ポンプ、アスピレータ）の選択が可能
- 各種海外規格（CE、C-Tick、cCSAus）を取得
各種機能を内蔵、自己診断機能を充実
- マルチセレクタ機能、自動レンジ機能、パーシャルレンジ機能、ポンプON/OFF機能を搭載
- センサ異常、ヒータ温度異常、温度センサ断線、センサ抵抗値異常など各種自己診断機能を充実
優れたメンテナンス性
- 現場でセンサ交換が可能
- 小型・軽量で、省スペースを実現
詳細
仕様
| 測定対象ガス | 不活性ガス中の酸素濃度（シリコン、可燃性ガス、腐食性ガス、毒性ガスを除く。水滴等の液体を含まないこと） |
|---|---|
| 測定原理 | ジルコニア式 |
| サンプリング方式 | ポンプまたはアスピレータまたは吸引装置なしから選択 |
| 測定範囲 | 0-10 ppm O2～0-100 vol％O2 |
特性
| 繰返し性 | ±1％FS |
|---|---|
| 直線性 | ±2％FS 但し、0-100 ppm 以下では±3％FS |
| 応答性 | 90%応答 0-1vol％以上；10 秒以内 |
| ドリフト | ±2％FS/週 |
関連情報
概要:
- 鶏ふん発電設備の安定操業を支えるCENTUM CS 3000の導入事例
業種:
ドキュメント＆ダウンロード
カタログ
- OX400 低濃度ジルコニア式酸素濃度計 (687 KB)
取扱説明書
- OX400 低濃度ジルコニア式酸素濃度計 (5.0 MB)
一般仕様書
- OX400 低濃度ジルコニア式酸素濃度計 (955 KB)
技術情報
- 酸素濃度計セレクションガイド (749 KB)
外形図
- OX400 低濃度ジルコニア式酸素濃度計 (649 KB)
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