横河電機株式会社
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SECS/HSMS/GEM/GEM300ソリューション: EQBrain
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SECS/HSMS/GEM/GEM300ソリューション: EQBrain

SECS/GEM/GEM300ソリューション : EQBrain

SECS/HSMS/GEM/GEM300とは

・SECS とは

SECS とは半導体製造装置とホストシステム(MES)との通信を規定する業界標準のプロトコルです。SEMI Standard にて規定が行われ、SECS-I(E4)・HSMS(E37)・SECS-II(E5)がその規格の対象となります。

・HSMS とは

HSMS とは SECS-I の RS232C によるシリアル通信を TCP／IP で置き換える通信プロトコルです。高速 SECS メッセージサービス (High Speed Message Service) とよばれ、SEMI Standard にて規定が行われ、HSMS(E37)がその規格の対象となります。

・GEM とは

General Equipment Model の略称で、SECS の上位層となる通信プロトコルです。一般的に200mm(8インチ)ウエハを生産する製造ラインで使用されます。SEMI Standard にて規定が行われ、GEM(E30)がその規格の対象となります。

・GEM300 とは

GEM の上位層となる通信プロトコルです。一般的に300mmウエハを生産する製造ラインで使用されます。SEMI Standard にて規定が行われ、OSS(E39)・CMS(E87)・CJM(E94)・PJM(E40)・STS(E90)・EPT(E116)がその規格の対象となります。

概要

30年以上に渡り、合計100社500機種20000ライセンス以上の実績を積み重ねてきた、大変信頼性が高く将来も安心なパッケージです。

特徴

  • SEMIスタンダードの学習期間や仕様検討期間が短縮でき、工数削減が可能です。
  • 設定ツール（BrainSETTER）により簡単に装置情報やメッセージ構造を定義する 事ができ、初期プログラミング工数や変更時のコストを大幅に低減できます。
  • 100% 横河内製のため、お客様の要求に迅速に対応できます。
  • 容易なプログラミングインターフェース、PLCインターフェース（ノンプログラミング実装）を提供します。
  • 豊富な導入実績により、どのような装置構成でも柔軟に対応可能です。

各製品の位置付け

製品ラインナップ・資料

製品 説明 カタログ

EQBrain V4

200mm以下の装置でGEM準拠オンライン対応をする場合に最適です。PLC接続ではノンプログラミングオンライン対応を実現できます。

PDF(968KB)

EQBrain 300

300mm以上の装置でGEM300準拠オンライン対応をする場合に最適です。

PDF(1,012KB)

EQBrain-Lite

GEM が必要ないレベルのSECS・HSMS通信インターフェース対応に最適です。液晶・LED・太陽電池等の装置向けです。

PDF(979KB)

BrainARTEST300

半導体装置のオンライン通信テストを容易に行うためのシミュレータです。

PDF(907KB)

EQBrain COM-D

UNIX系（Linux、Solaris10、HP-UX）OSにてHSMS通信機能を行う場合の通信ドライバです。

PDF(745KB)

SECS-HSMS Gateway

SECS-I 通信を行う半導体・FPD 装置を HSMS 化するためのプロトコルコンバーターです。安川情報システム株式会社製 SH2000-typeF の上位互換となっております。

※ SH2000と100%の互換性を保証するものではありません。

※ 安川情報システム株式会社が互換性を保証するものではありません。

PDF(795KB)

動作環境

  • ハードウェア
    • CPU　: Intel Core i5 2.7GHz 以上
    • メモリ　: 4GB 以上
    • HDD　: 50GB 以上

                ※ 各種 Windows のシステム要件については、Microsoft のサイトをご確認ください。

  • OS
    • Windows 7 , Windows 10 , Windows 11

                ※ EQBrain シリーズの現在対応しております Windows10 / Windows11 のエディションは担当営業までお問い合わせください。

  • 開発環境
    • EQBrain Lite
      • C# , VB.NET
    • EQBrain Lite 以外
      • C++.NET , C# , VB.NET

その他サービス

  • SECS/GEM/GEM300 トレーニング
    SECS/GEM/GEM300 の仕様を分かりやすく、かつ迅速に理解が出来る独自のトレーニングプログラムがございます。お客様先に出向いての開催も可能です。
     
  • オンライン通信コンサルティング
    豊富な実績とノウハウを活かしてお客様の装置に合わせた最適なオンライン仕様のご提案や通信仕様書の作成、エンドユーザー様(デバイスメーカー様)との折衝等、ご要望に合わせたコンサルティングサービスがご提供可能です。
     
  • カスタマイズアプリケーションの開発
    EQBrain を使用したカスタマイズアプリケーションの開発も可能です。

導入実績(参考)

工程

機種

半導体前工程

  • 洗浄装置（枚葉・バッチ式、固定・内部バッファ）

  • アッシング装置

  • イオン注入装置

  • スパッタリング装置

  • CVD装置

  • PVD装置

  • ウェットエッチング装置

  • ドライエッチング装置

  • CMP装置

  • アニーﾙ装置

  • 縦型拡散炉装置、横型拡散炉装置

  • 塗布・現像装置

  • 検査装置（外観検査測定、膜厚測定、表面検査、方位測定、異物検査、電子顕微鏡、抵抗率測定、X線分析、…etc）

  • バックグラインダー

  • レーザーマーキング装置

半導体後工程

  • マウンタ装置

  • ボンディング装置（ワイヤー、ダイ、フリップチップ）

  • モールディング装置

  • トリミング装置

  • 封止装置

  • プロービング装置

FPD・電子部品

  • イオン注入装置

  • 剥離装置

  • パネル洗浄

  • 露光装置

  • 塗布・現像装置

  • レーザーマーキング装置

  • 画像検査装置

  • 封止装置

  • めっき装置

  • ディスペンス装置

  • リフロー炉

SEMI規格対応表

SEMI 規格

Description

EQBrain-Lite

EQBrainV4

EQBrain300

SEMI E4

SECS-I (Serial protocol)

〇

〇

〇

SEMI E5

SECS-II

〇

〇

〇

SEMI E30

GEM

 

〇

〇

SEMI E37

HSMS-SS (Ethernet protocol)

〇

〇

〇

SEMI E39

Object Services

 

 

〇

SEMI E40

Process Job

 

 

〇

SEMI E87

Carrier Management

 

 

〇

SEMI E90

Substrate Tracking

 

 

〇

SEMI E94

Control Job

 

 

〇

SEMI E116

Equipment Performance Tracking

 

 

〇

本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください

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