搬送・AGV

AGV Automatic Guided Vehicle
無軌道床上自動搬送車。ロボットアーム付き床走行車で、オペレータのアシスト無しに動作する。半導体デバイス工場内で、ウェハをキャリアに入れてプロセスフローの順番通りに半導体製造装置から半導体製造装置へウェハの搬送を行っている。

AMHS Automated Material Handling Systems
自動ウェハ搬送システム。半導体生産ラインにおいて、AMHS装置間または製造装置のロードポートとの間でウェハ (材料) を自動搬送するシステム。

AMHSルート AMHS Route
AMHS 装置間または製造装置のロードポートとの間のウェハ (材料) を運ぶための経路。

FIMS Front-opening Interface Mechanical Standard
SEMI スタンダードE62で規定される前面開閉型ウェハポッドに対する装置側の機械的なインターフェース規格。

FIMS位置 FIMS Position
ロードポート上でキャリアが製造装置に結合される位置。 SEMI スタンダード E62で規定。

OHS Overhead Shuttle
天井シャトル式搬送装置。レールでガイドされる走行車、シャトル形式で頭上に設置される。

OHT Overhead Hoist Transport
天井吊下式搬送装置。レールでガイドされる走行車、ホイスト形式で頭上に設置される。

OHV Overhead Hoist Vehicle
天井吊下式自動搬送車。工場フロアの上方で工場従業員の頭上で材料搬送する走行車。

PGV Person Guided Vehicle
無軌道人力台車。電気的に補助されず、工場従業員により操舵され動かされる床上走行車。

PRV Person Rail Guided Vehicle
有軌道人力台車。電気的に補助されず、レールによりガイドされ工場従業員により動かされる床上走行車。

RGV Rail Guided Vehicle
有軌道床上自動搬送車。床に設置されたレールでガイドされるロボット付き走行車。

アクセスモード ACCESS Mode
ロードポートに対しキャリアをロード／アンロードする方法。

キャリア／スロットマップ Carrier/Slot Map
キャリア内のどのスロットにウェハがあるかを示す位置情報。マップ。

キャリアID Carrier ID
ウェハキャリアを選別するための可視でかつ独自のコード。

バッチ Batch
装置内で、同時に処理される製品のグループ。プロセス技術と装置構造に依存する。

バッファ空き容量 Available Buffer Capacity
装置が追加で受け入れることができるキャリア数。

バッファ全容量 Total Buffer Capacity
内部バッファの全キャリア収納位置数。

移載 Hand-off
ロードポートと材料ハンドリングシステム間のキャリア受け渡し動作 (キャリア移載) やキャリア間でのウェハの受け渡し動作 (ウェハ移載) など、移し変え動作の総称。

自動アクセスモード Automatic Access Mode
ロードポートに対し AMHS (OHT／AGV／RGV等) がアクセスする状態。

双方向性ロードポート BI Directional load port
キャリアのローディングおよびアンローディング両方に使われるロードポート。

同時移載 Simultaneous Hand-off
AMHS と製造装置間で平行して発生する2つ以上のキャリア移載動作。例えば、一台の製造装置に同時に2つのキャリアをロードする場合など。

搬送コマンド Transfer Command
各 AMHS 装置の中で材料を運ぶために発行されるコマンド。

連続的移載 Continuous Hand-off
AMHS と製造装置間で直接つながって連続発生する2つ以上のキャリアの動作。

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