CELLBRAIN on e-RT3 は、半導体や FPD製造装置のオンラインを実現するセル・コントローラを PLC（Programable Logic Controller）上で実現したパッケージです。製造管理システム（MES）と装置（SECS-II/HSMS）をオンラインで接続し、ラインの自動化、効率的な装置の群管理を実現します。
詳細
製品概要
CELLBRAIN on e-RT3 は、Windows PC システムとして開発されたCELLBrainの機能である、業界標準仕様、SEMIスタンダード (GEM, GEM300) に対応した半導体・FPD 製造装置と製造管理システム (MES) を接続し、オンライン化 (自動化) を組み込みOS を採用した PLC上で実現します。セル・コントローラとして貴社で導入予定／導入済みの製造装置のきめ細やかな高度制御、データ収集が PC レスの環境で実現可能です。
特長
業界標準
- SEMI より発行されている GEM、GEM300 (CMS, CJM, PJM, STS,OSS) スタンダードに対応
- SEMI をはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックを実施
統一プラットフォーム
- 同一ライン内で 300mm 対応装置だけではなく、GEM 準拠装置や従来の SECS-II べースとの混在接続が可能
運営管理支援アプリケーション
- 複数のCELLBRAINや、装置毎の定義情報を一括管理するための Webマネージャーアプリケーション
脱 Windows
- Windows PC 上のシステムではなく、組み込みOS を使用した PLC上で上記機能を実現
オンライン業務支援 (OBS：Online Business Service) との連携
半導体・FDP 製造工場のシステム運用の観点から、装置のオンライン化の業務を支援するOBS（Online Business Service) と連携し製造ラインの垂直立上を実現
主な導入業種
- 半導体製造工場
- FPD 製造工程
- 電子デバイス製造工程
機能
CELLBRAIN on e-RT3 は、SEMIスタンダードに対応したオンライン機能を持った半導体・FPD製造装置を接続し、製造管理システム（MES）とのデータインタフェースを実現します。
基本機能
- 装置情報管理
- ロット情報管理
- シナリオ設定機能
（メッセージ、イベント、ステータス、リモートコマンド、アラーム、エラーメッセージなど) - GEM、GEM300 機能
- 実績収集機能
- 対装置通信機能（HSMS 通信、SECS-II 通信）
SEMIスタンダード対応
- E37： HSMS 通信プロトコル
- E5 ： SECS－II メッセージスタンダード
- E30： GEM (包括的装置モデル)
- E39： オブジェクトサービススタンダード
- E40： Process Job 管理
- E94： コントロールジョブﾞ管理
- E87： キャリア管理スタンダード
- E90： Substrate トラッキングスタンダード
拡張機能
- シーケンスCPU 接続機能
シーケンスCPU の I/O インターフェースより、装置シーケンサーデータなど、非SECS データの収集機能を組み込むことも可能です。これにより、簡易EES として装置運用改善にこれらのデータを使うことも可能です。 - 装置特殊運用対応
- 各種ホスト接続機能
- PLC I/F 機能
優位性
- オンライン制御対応による生産効率と信頼性の向上
- 作業ミスの低減
- 製造ラインの垂直立上
- PLC上で稼働する脱Windows システムとして、パッチの適用、ウィルス対策などの管理工数を低減
導入効果
CELLBRAIN on e-RT3 は、オンライン制御（自動化）を実現することにより生産効率の向上、作業ミスの低減を実現します。また、脱Windowsとしてシステムの維持管理工数の低減を実現します。
経営効果
- 各種多様な装置のオンライン化実績があり、貴社の製造工場の早期立ち上げ貢献
- 装置効率の向上と製造コストの削減を実現
拡張機能
- 装置のオンライン（自動）化により、省人化および装置の操作ミスを低減
- パソコンではなく PLC上で稼働するため、Windows システム特有の管理工数を削減
システム構成
CELLBRAIN on e-RT3 は、利用規模に応じて柔軟にシステムを拡張することができます。
基本構成
動作環境
CELLBAIN on e-RT3
- Linux CPU モジュール
型番： F3RP61-2R または F3RP61-2L
OS: Linux (kernel.org Linux2.6.26.8 + patch2.6.26.8-rt16)
CPU: MPC8347E 533MHz - 電源モジュール
型番： F3PU20-0S - 5Slot ペースモジュール
型番： F3BU05-0D - シーケンス CPUモジュール（オプション）
型番： F3SP76-7S
（ラダーでシナリオを組む場合や、簡易EES機能を実装する場合に必要なオプション品です）
管理サーバ
- CPU : M1.2GHz
メモリー: 1.24GB 以上
管理端末
- OS: Windows
（最新のWindows OS への対応状況につきましてはお問い合せください）
本件に関する詳細などは下記よりお問い合わせください
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